石英石光学玻璃加工后抛光对表面精度有哪些要求？

石英石光学玻璃加工后抛光对表面精度有以下多方面要求：

表面粗糙度：一般要求达到纳米级甚至更高精度。例如，对于一些高精度光学镜片，表面粗糙度可能要求达到 Ra 0.1nm 以下，以减少光线散射，提高光学透过率和成像质量。

面形精度：通常用峰谷值（PV）和均方根值（RMS）来衡量。对于普通光学系统中的石英石光学玻璃，面形精度 PV 值可能要求在几微米到几十微米之间；而对于高精度的天文望远镜或光刻机等设备中的光学元件，面形精度要求极高，PV 值可能达到亚微米甚至纳米级别，RMS 值也相应要求非常小，以保证光线的准确折射和聚焦，减少光学像差。

表面疵病：包括划痕、麻点、气泡等。在高精度光学玻璃抛光中，不允许有明显的划痕和较大的麻点，气泡数量也需要控制在极低水平。例如，在用于航天航空等高端领域的石英石光学玻璃中，每平方厘米内的划痕和麻点数量通常要求不超过几个，且其大小要控制在几微米以下。

边缘精度：边缘的垂直度、平整度以及倒角的精度也有一定要求。边缘垂直度偏差一般要求在几分以内，平整度要求与表面其他区域相近，倒角的大小和精度要均匀一致，以保证光学元件在安装和使用过程中的稳定性和光学性能。